DHRP-1 电感耦合射频等离子体装置

装置将 13.560MHz 射频源加至反应室外的电感线圈 , 用电感耦合方式激励气体 , 使其放电产生等离子体 . 这种方式具有放电效率高、无电极放电污染的特点 , 并可以获得纯净的等离子体 . 装置适合大学物理、材料、化学等领域科学研究之用。

实验内容

1、等离子体消毒灭菌实验 , 如大肠杆菌 (8099)、金黄色葡萄球菌 (ATCC6538);

2、等离子体材料表面改性实验 , 如纸张亲水性、纸张接触角;

3、等离子体材料表面清洗实验;

4、等离子体聚合实验。

主要技术参数

1、等离子体腔体体积:φ140mm×(H)155mm;

2、射频功率: 0 ~ 500W;频率:13.560MH Z ;

3、工作气压: 20 ~ 200Pa(建议工作在 100 Pa 以下);

4、反应腔本底真空: ≤ 5Pa;

5、反应腔极限真空: 1×10 -1 Pa;

6、等离子体电子温度: 1 ~ 8Ev;

7、流量控制器: 0 ~ 1000sccm;

8、工作电压: AC220V±5% 50Hz;

9、整机功率: ≤ 1.5KW;

10、整机重量: 约 100Kg;

11、外形尺寸: 长 650× 宽 610× 高 1000mm。


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