DHFC-1 功能薄膜特性测试仪

用于测试半导体材料电阻率及方块电阻 ( 薄层电阻 )、功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性。

1、本底真空度:≤ 10Pa,真空可控范围:10 ~ 400Pa;

2、衬底加热温度:室温~ 300℃;

3、测量范围:电阻率:0.001 ~ 200Ω.cm; 电导率:0.005 ~ 1000 s/cm; 电阻:0.001 ~ 200Ω.cm;可测晶片直径:200mmX200mm 间距:1±0.01mm;针间绝缘电阻:≥ 1000MΩ;机械游移率:≤ 0.3%;探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;探针压力:5 ~ 16 牛顿 ( 总力 );

4、恒流源:电流量程分为 0.1、1、10、100(mA) 四档,各档电流连续可调;误差 <±0.5%;

5、数字电压表:量程:0 ~ 199.99mV;分辨率:10μV;四位半红色发光管数字显示;输入阻抗 >1000MΩ:精度 :±0.1%;

6、指针式高阻计:电阻测量范围:1×10 6 ~ 1×10 17 Ω;精度:±10%~±20%;

微电流测试:1×10 -5 ~ 1×10 -14 A;额定电压:10、100、250、500、1000V±5%。

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